第53章 鈹，三組不同的比例(1/2)

    蘇哲看著驚呼的眾人，臉上露出了笑容。

    此時此刻，牛光輝和司文博兩人也是異常的興奮。

    兩人看著大屏幕上兩組加工鏡片的檢測數據，知道這次是穩了。

    “不錯不錯！這樣的結果才是我願意看到的，這下大家也不用猜了，都能安心了。”牛光輝笑著說。

    “的確！兩組能有這樣的檢測數據，說明了DYN-離子束拋光技術的穩定性。”司文博肯定的說，“老牛！要是你們搞的等離子體EUV光源突破了就好了，那我們造出來的EUV光刻機就有競爭力了。”

    “我也想啊！我們研究團隊……”牛光輝還沒說完，站在台上的包正義拿著話筒又喊了起來。

    “各位注意了，這兩組的檢測的結果還有提升空間，DYN-離子束拋光技術在理論上，鏡麵精度能夠達到0.06納米的麵型精度峰穀值和10皮米的表麵粗糙度。”

    “有了DYN-離子束拋光技術，我們就能進軍高端光學鏡頭市場了，最典型的就是EUV光學鏡頭，最為……”

    蘇哲聽了一會兒，發現和範曉明說的一樣，開始展望未來了。

    牛光輝和司文博兩人笑了笑。

    “老牛！我們繼續。”司文博笑著說。

    “好！”牛光輝繼續說等離子體EUV光源的問題。

    蘇哲一邊聽著，一邊在腦中快速的計算著。

    牛光輝相關的參數說的很詳細，也點出了問題的所在，及錫滴在大功率波長10.6微米紅外光的照射下會出現不穩，導致的結果是無法獲得波長13.5納米的紫外光。

    聽完這些，蘇哲沒在聽牛光輝和司文博兩人的討論了，自顧自的在大腦中計算起來。

    說來也巧，這等離子體EUV光源產生的原理和他研究的ZGZ-原子振動模型有點關係。

    他們大的框架是一樣的，及原子在特定的狀態下吸收了特定波長的電磁波，從而釋放了波長特定的電磁波。

    相對來說，ZGZ-原子振動模型是個特列。

    蘇哲有了搭建ZGZ-原子振動模型的經驗，計算EUV光刻機使用的EUV光源的速度要快的多。

    先是計算出錫原子的狀態信息，接著是計算錫原子在吸收波長10.6微米紅外光後的反應……

    慢慢，錫原子吸收波長10.6微米紅外光，釋放波長13.5納米的紫外光的模型出現在他的腦海中。

    至於錫滴在大功率的波長10.6微米紅外光的照射下不穩，其原因是在紫外光的照射下，部分錫原子的狀態已經發生了改變。

    很顯然，牛光輝他們是知道原因的，他們改進的方法是往錫滴中加入其他的金屬。

    他通過計算，發現這個方向是對的，但加入的金屬和加入金屬的比例都有著嚴格的要求。

    加入其他金屬的目的，是為了防止絕大多數錫原子在大功率紅外光的照射下改變了原子的狀態信息。

    牛光輝他們嚐試著加入鋰、鈹、鋁、鈣、鐵、鉑、金、銀等等四十多種金屬。

    蘇哲根據搭建ZGZ-原子振動模型的經驗，再加上計算，剔除了元素周期表中絕大多數金屬，僅剩下三種，及鈹、鈣、鋇。

    通過簡單的計算，鋇被放棄了，剩下鈹和鈣。

    將鈹和鈣帶入計算，最後確定了鈹。

    繼續計算鈹和錫的比例，確定了三組比例。

    在蘇哲看來，這三個比例能夠保持錫原子的狀態。

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