945章 技術霸主(2/2)

    此時坐在台下的爾英特集團公司的代表和阿斯麥爾公司的代表臉色都是非常難看。

    這也意味著星環科技公司公司不久後推出的新型光刻機可以將製程工藝做到10納米以下，這對整個半導體業界來說都是一件極為重大的事情！

    盡管阿斯麥爾公司兩年前就推出了這種極紫外光刻機工程樣機，光源係統和控製軟件來自於亞米利加國，超精密機械及鏡頭來自德意誌特殊複合材料和光學器材技術來自霓虹國，軸承和閥件由法蘭西和其他的國家，不過那套工程樣機卻是沒辦法投入商用。

    阿斯麥爾和半導體聯盟這些成員企業通過媒體一直宣稱世界上沒有任何一個國家同時具備製造極紫外光刻機所需要的全部技術。

    這些涉及到極紫外光光刻機設備的部件係統供應商都是向這些媒體強調自身研製的這些部件係統如何厲害先進，隻有自身這些具有上百年技術積澱的企業才能做出來。

    隻不過像光刻機這種半導體產業核心中的核心設備這些西方國家早在數十年前就一直在對國內進行封控，玄思科技集團自己隻能跟國內五大精密光機研究所聯手進行技術攻關。

    星環科技公司公司的這套極紫外光光源係統裏麵的核心技術和材料是玄思科技集團很早就在大功率的激光光源和高功率脈衝電源技術領域進行了研發探索，先是在激光晶體方麵取得突破後，這套數十千瓦高能激光光源係統的研製就步入了快車道，所以這幾年在這套極紫外光光源係統上的研發是很順利的。

    玄思科技集團公司一開始從激光讀寫頭開始玩起，後來開始玩半導體激光光源波長最短的激光光源，並且利用國內在非線性光學晶體材料上的絕對技術優勢玩激光倍頻技術，星環科技公司公司自然在光刻機光源係統上能得到最好的技術成果。

    光刻機是用來幹活的，客戶有著強烈的產能的需求，在相同的曝光量下，光源的功率越高，曝光需要的時間越少，這樣單位時間裏麵產能越高。

    要得到這樣高功率的極紫外光，需要功耗極大的激光器，電能轉化為激光時也是變為了熱量損耗掉了一大部分，其次修正光的前進方向時，每一次反射仍會損失不少能量，經過十幾麵反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概隻能剩下不到相當少的光線能量。

    被吸收的能量必須要用大功率散熱係統進行冷卻，而激光器本身工作時候會產生很大的熱量，也是需要一套優良的散熱冷卻係統，才能保證機器正常工作，可以說是不折不扣的耗能大戶。

    現在星環科技公司能夠讓這套波長在35納米的極紫外光光源係統能夠長時間穩定可靠地在試驗生產線進行可靠耐久性測試，不誇張的說，現在玄思科技集團公司激光技術領域已經是成了絕對的技術霸主。 本章已閱讀完畢(請點擊下一章繼續閱讀!)