418章 收獲果實(1/2)

    “鍾總，想不到你們這麽快就把這種氟化氬光刻機需要的鏡片研製出來了。”

    張京汝此時一臉震驚地對鍾保國說道。

    “其實國內中科院多年之前研發出了適合深紫外光的波段頻譜的光電晶體材料，隻不過一直沒能走出實驗室，我們將這方麵的技術專利買了過來重新進行了改進研發，總算是研發出了出了能夠匹配120納米波長激光光源的鏡片鍍膜材料和鍍膜工藝技術。”

    鍾保國開口說道。

    “120納米波長的激光光源？”

    張京汝更加吃驚：“我隻聽說康尼精機那邊研製出了157納米的光刻機光源係統，沒想到我們自己竟然研發出了更短波長的激光光源係統和鏡頭組！”

    他當然知道光刻機光源能夠使用的波長做得越小越好，不過這其中的技術難度是極大的，從激光光源係統裏麵挑選出需要特定波長頻譜光源的光柵係統並且能夠承受大功率激光光源照射且不受損傷就已經極為困難了，匹配這種光源係統的鏡頭組要重新進行設計，並且鏡片表麵拋光精度要達到極高的水平，鍍膜材料的鍍膜工藝技術難度之大也是超乎想象。

    不過現在集團公司這邊硬是攻克了下來！

    “這個還是要感謝中科院在激光晶體材料上麵的巨大貢獻，不客氣的說，國內在激光晶體材料上的基礎理論研究和製備工藝技術上是世界領先的。”

    周曉東笑著說道：“我們集團公司在這個上麵是占了大便宜的，要是沒有國內在這個技術領域數十年的技術積累，我們的研發進展也不會這麽快。”

    玄思科技公司現在集中了國內至少一少半以上光電激光技術方麵的技術大拿，從事著從光電晶體材料到光電器件設計加工到光電產品終端方麵的研製工作，並且還在不斷地招募國內外技術研發人才。

    另外玄思科技公司這邊招募到了像李一凡教授這樣從事磁流變和等離子拋光這些超高精密加工設備的技術研發團隊。

    並且周曉東在這些上麵投入的研發經費那是一年比一年高，再加上旗下的技術研發團隊非常拚命，沒日沒夜地進行高強度的技術攻關，在不到三年的時間裏麵終於是攻克了這種120納米波長激光光源係統和配套的鏡片產品。

    “周先生，我們爭取在今年上半年將光刻機需要的鏡頭組係統完成總裝生產工作。”

    鍾保國向周曉東說道。

    周曉東點點頭，按照這個進度，今年這種120納米激光光源沉浸式光刻機設備原型機還是能搞出來的。

    “周先生，看樣子智芯科技公司這邊也要圍繞著這種光刻機設備啟動光刻工藝技術方麵的研發工作了。”

    張京汝此時興奮地說道。

    周曉東開口說道：“我們自身研製的這種激光光源係統破壞力比目前那種193納米光源係統要大得多，現有的掩膜光罩是沒辦法給掩膜提供足夠的保護，這方麵要重新進行設計開發。”

    他頓了頓說道：“另外國外的產商也沒有這種適合120納米激光光源的光刻膠產品，我們隻能是自己研發了，還不知道要用幾年時間才能開發出來。”

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