103章 立體晶體管工藝(1/2)

    聽到周曉東的話，在座的這些研發人員都是笑了起來。

    對於眼前這個老板，沒有人覺得他是在吹牛。

    在跟精密機械電子技術部門開完會後，周曉東也是跟譚小鬆親自帶領的製程工藝技術研發部門討論起關於新型場效應晶體管的具體製備工藝技術編製的討論。

    此時周曉東在白色的書寫板上麵用嘜頭筆刷刷地畫著新型晶體管的具體結構以及一些算法公式。

    “這種立體晶體管的結構可以提升柵極對於通道區域的控製，並且可以減少漏電流降低芯片的功耗，在相同的製程工藝和芯片麵積下可以塞入更多的晶體管，這對芯片的性能提升是很明顯的。”

    周曉東此時開口說道：“不過製備這種晶體管難點在於幾個技術難點，一個是無法準確定義鰭狀結構的位置造成鰭片倒塌，再一個就是控製不好刻蝕的時間導致過度蝕刻，影響鰭狀結構的作用效能。”

    說到這裏，他拿著嘜頭筆在白板上麵刷刷地書寫著東西，“為了避免這些問題，我的想法是這樣的，首先，我們在基底上麵形成晶體管的第一鰭片和第二鰭片，接著開始我們的第一次蝕刻工藝……”

    周曉東此時也是將前世記憶中一套非常成熟的製程工藝一點一點地進行了仔細的講解，包括譚小鬆等人都是聽得十分入神，都拿著手中的紙筆開始記錄。

    這種新型的晶體管製備出來的工序十分複雜，不過周曉東憑借著自己強悍的記憶將具體的工藝工序給一點一點地講解出來。

    這種工藝主要是利用階段性地鰭片切割製作工藝，慢慢地對虛擬鰭片進行蝕刻，可避免發生倒塌或過度蝕刻等問題。

    當然，周曉東也是對工藝進行了改進，可以可形成具有不規則形狀的鰭狀結構，讓晶體管具有更好的作用效能。

    “注意，在進行第二個階段蝕刻製作工藝中，我們要選用對於矽基底有較高蝕刻比例的蝕刻劑，主要是用來提升蝕刻效果。”

    周曉東此時也是將工藝過程中一些需要注意的技術細節做了提醒。

    在座的眾人都是震驚不已：老板說的這些差不多已經是一套非常完整的晶體管製備工藝流程了，連用什麽材料都是說得十分清楚。

    “周董，這套工藝你之前在實驗室做過很多次了？”

    周曉東笑了笑，“這套工藝我在腦袋裏麵已經是醞釀很久了，也是覺得可行，今天我把這套工藝流程說給各位聽，是希望各位抓緊時間進行驗證一下。”

    “這套工藝我是覺得一點問題都沒有的，我們馬上就開始做準備。”

    譚小鬆畢竟是研發過很長一段時間的製程工藝，不管是直覺還是技術經驗都認為這套工藝流程是沒有問題的。

    天才，真是天才！

    他心中也是喃喃地說道。

    眼前的周董在自己的腦海中就能將這種他從未見過的立體晶體管製備工藝給想出來，那隻能用天才來解釋了。

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